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赫爾納供應德國enkoba夾具 型號LAM邊緣enkoba夾具晶圓可以按順序從載體中取出或插入載體 將損壞底層晶圓或被顆粒污染的風險降至夾具低 晶圓不會像傳統(tǒng)的邊緣夾具那樣變形。這樣可以避免損壞 借助電動夾爪，路徑、力和速度可自由編程
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大連赫爾納供應德國ENKOBA夾具主動負載固定的特點是工作量相對較大。為此，用于固定負載的力和/或運動。被動負載系固使用現(xiàn)有條件，因此主動負載系固。在該示例中，鎖定凸耳通過負載搬運設備和工件之間的連接自動創(chuàng)建。負載處理裝置設置在籃子的邊緣，兩個承載臂使用轉(zhuǎn)動手柄推到籃子支架下方。
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